產品描述
蔡司公司最新推出Sigma300場發射掃描電鏡采用成熟的GEMINI光學系統設計,將低電壓成像技術發揮到了極致,采用適宜的探針電流范圍,降低50%的信噪比從而提升了85%的襯度信息。Sigma300將高級的分析性能與場發射掃描技術相結合,多種探測器可選:用于顆粒、表面或者納米結構成像。Sigma自動的四步工作流程大大節省了設置與分析操作的時間,提高效率。
產品應用
掃描電鏡(SEM)廣泛地應用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等 檢驗和研究。在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學材料等領域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析,各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分 析和失效分析,材料實時微區成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面掃描和線掃描分布測量,晶體、晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶 粒取向測量。
技術參數
- 分辨率:1.0nm@30kV STEM 、1.0nm @15 kV 、1.8nm @1kV
- 放大倍數:10-1,000,000×
- 加速電壓:調整范圍:0.02-30 kV(無需減速模式實現)
- 探針電流: 3pA~20nA(100nA選配) 穩定性優于 0.2%/h
- 低真空范圍: 2-133Pa (Sigma 300VP可用)
- 樣品室: 365 mm(φ),275mm(h)
- 樣品臺:5軸優中心全自動 X=125mm Y=125 mm Z=50 mm T=-10o-90o R=360o 連續
- 系統控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系統,可選鼠標、鍵盤、控制面板控制
- 存儲分辨率:32k x 24k pixels